옌웨이반도체, 6·8인치 탄화규소 장비 재공급

옌웨이반도체가 6·8인치 탄화규소(SiC) 웨이퍼에 대응하는 외피택시 장비를 중국 상장사 고객에게 다시 공급했다. 전기차와 에너지저장장치(ESS), 산업용 전원에 쓰이는 전력반도체 양산 공정을 겨냥한 장비다. 옌웨이(장쑤)반도체과기유한공사(研微（江苏）半导体科技有限公司)가 자체 개발한 SiC EPI 장비를 재차 인도했다고 화성재경은 4일 보도했다. 장비는 평면형과 트렌치형 SiC 외피택시 양산 공정을 지원한다. 고객사명과 공급 대수, 납품 금액은 공개되지 않았다. 옌웨이반도체의 공식 제품 페이지에는 SiC EPI 제품군인 ‘Torridus’ 시리즈가 올라와 있다. 회사는 적용 분야로 △에너지저장 △충전파일 △태양광 △철도교통…